工業氣體質量流量計的傳感器部分由2個基準級鉑金阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質溫度T1；另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度△T=T2-T1，T2＞T1，當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，若要使△T保持不變，就要提高T2的供電電流，氣體流動速度越快，帶走的熱量就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數關系，這就是恒溫差原理。
工業氣體質量流量計是利用熱傳導原理測流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環路，一個傳感器測量流量溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進行流量測量。
熱式氣體質量流量計根據熱效應的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質量流量Q有確定的數學關系式。P/△T=K1+K2f(Q)K3K1、K2、K3是與氣體物理性質有關的常數。ZN系列熱式氣體質量流量計*的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質而造成的很大的零點漂移，導致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的質量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風，排風系統中的風量（速）的實時檢測。
熱式氣體質量流量計按安裝方式分為：插入式和管段式。插入式傳感器可在線安裝、在線維護。安裝過程是首先在管道外壁上焊接帶有外螺紋的底座，在底座上安裝1寸不銹鋼球閥，而后用工具將管道打直徑為22mm的孔，打孔完畢后卸下工具，后將傳感器安裝在閥門上并將傳感器插入到管內中心(傳感器的插入位置出廠時已確定)。插入式傳感器一般適用管道直徑：DN80～6000mm。
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